歐姆龍新品發(fā)布溫控器E5□D-H：精準控溫助力半導體高效生產

2025年6月，歐姆龍自動化(中國)有限公司發(fā)布新品【溫控器E5□D-H】。作為E5□N-H的迭代機型，E5□D-H在保持操作便捷、成本優(yōu)勢的基礎上，針對半導體精密加工需求，全面提升溫度控制性能與設備開發(fā)效率，為行業(yè)客戶提供高性價比解決方案。

半導體微型化與疊層化工藝要求溫控精度提升。復雜工況下的外部干擾易引發(fā)溫度波動，影響設備穩(wěn)定性，抗干擾能力需增強。多樣化產品需求要求設備快速改造與組裝。E5□D-H通過核心技術升級，切實解決上述難題。

產品核心優(yōu)勢

① 提升溫控性能，溫度分辨率可達0.01℃

E5□D-H搭載0.01℃的高分辨率，有助于在高溫條件下實現高精度溫控，提升產品良率。

②外部干擾抑制功能，將溫度變化控制在最低限度

外部干擾抑制功能是一項控制功能，能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化。通過外部干擾自動調諧功能，自動調整FF(前饋)操作量、FF動作時間和FF等待時間。

③ 易操作的設計，簡化安裝與維護

使用Push-In端子臺輕松接線，無需工具，插入即可，不易脫落。

Push-In Plus端子臺可大幅削減配線工時，有效減少配線作業(yè)的負擔。

④ 減少通信設置工時和通信時間

E5□D-H利用設備預置的通信協(xié)議庫，無需PLC通訊程序開發(fā)，實現“零編程”通信集成，減少通訊設定工時。通過集中管理，實現多臺溫控設備的批量配置，減少通信時間。

歐姆龍溫控器E5□D-H，以技術創(chuàng)新與用戶需求為導向，重新定義高精度溫控標準。通過高分辨率控制、干擾抑制功能、省人化設計，助力半導體企業(yè)實現高效生產與可持續(xù)發(fā)展，開啟精準溫控新時代!

(資料來源：歐姆龍官網）